德雷特 SV-600KP 分配型蠕動泵由 SV-600KP 驅(qū)動主機搭配 LP-1500 泵頭組成，是面向電鍍、PCB 蝕刻產(chǎn)線開發(fā)的藥液定量輸送設(shè)備，核心服務(wù)酸性、堿性蝕刻母液、氧化劑、緩沖調(diào)節(jié)劑勻速在線補加作業(yè)。設(shè)備轉(zhuǎn)速區(qū)間 0.1～600rpm，轉(zhuǎn)速分辨率 0.1rpm，流量覆蓋 0.0063～3300mL/min，流體僅與軟管內(nèi)壁接觸，可適配含銅鹽、鹽酸、氨水的腐蝕性蝕刻體系；內(nèi)置勻速輸送、定量分配、時序回吸七類運行模式，支持 0-5V、4-20mA、脈沖多類外部信號聯(lián)動，可對接產(chǎn)線 ORP、比重在線傳感系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)補液。整機配備彩色觸控終端，可存儲多組蝕刻補液時序方案，設(shè)置回吸角度消除管路末端滴液，IP31 防護機身適配車間酸堿水汽環(huán)境。依靠步進電機穩(wěn)定驅(qū)動滾輪擠壓管路輸送藥液，相較于離心泵、手動滴定補料方式，該設(shè)備流量波動幅度收窄，無泵軸腐蝕滲漏問題，長時連續(xù)輸送工況下補液速率維持平穩(wěn)，為蝕刻槽藥液組分動態(tài)平衡、線路蝕刻厚度均勻管控提供定量輸送載體。

在 PCB 堿性蝕刻槽氧化劑勻速在線補加領(lǐng)域，德雷特 SV-600KP 蠕動泵適配氨水 - 氯化銅體系持續(xù)補液。堿性蝕刻過程中游離氨、氧化劑持續(xù)消耗，瞬時大量補加藥劑會造成槽內(nèi)局部濃度突變，引發(fā)線路側(cè)蝕寬度差值擴大，小幅流量偏移會批量改變基板蝕刻速率。設(shè)備勻速運行模式可設(shè)定固定轉(zhuǎn)速持續(xù)微量輸送氧化劑母液，搭配在線電位傳感器 4-20mA 信號聯(lián)動調(diào)速，銅離子濃度升高時平緩提升補液速率，濃度回落自動降低輸送流量；時序回吸功能停機后反向收回管路殘留藥液，避免滴入槽內(nèi)造成局部藥劑富集。單臺泵可對應(yīng)單條蝕刻生產(chǎn)線 24 小時連續(xù)補液，同批次基板補液條件保持統(tǒng)一，縮小線路蝕刻尺寸偏差區(qū)間，穩(wěn)定批量 PCB 加工品質(zhì)。

在五金電鍍酸性蝕刻液緩沖劑定量補加場景中，德雷特 SV-600KP 蠕動泵適配鹽酸腐蝕體系勻速輸送。五金蝕刻槽長期運行會出現(xiàn)酸度下滑，人工間歇投加緩沖調(diào)節(jié)劑易出現(xiàn) pH 階段性起伏，金屬工件表面腐蝕深淺不均。設(shè)備軟管可耐受低濃度強酸長期接觸，無金屬傳動部件接觸蝕刻藥液，不存在軸封腐蝕漏液情況；多段時序程序可區(qū)分白天、夜間不同產(chǎn)能對應(yīng)的補液流量，產(chǎn)能提升同步小幅上調(diào)輸送速率，低負荷時段降低補液量維持藥液平衡。整機 30W 低功耗可長期連續(xù)運行，車間酸堿霧氣環(huán)境下設(shè)備運行參數(shù)不易漂移，適配五金電鍍車間多槽同步補液管控。

在晶圓精密蝕刻微量藥劑穩(wěn)定輸送工作中，德雷特 SV-600KP 蠕動泵適配低流量高純蝕刻助劑勻速投加。半導(dǎo)體晶圓蝕刻對藥液配比敏感度高，微量藥劑流量波動會改變硅片表面腐蝕平整度，微小滴液殘留會造成局部過蝕缺陷。設(shè)備下限微量流量區(qū)間輸出平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速 0.1rpm 微調(diào)即可匹配微量補液需求，多組分配模式可設(shè)置固定單次輸送體積，回吸延時參數(shù)可根據(jù)軟管材質(zhì)調(diào)整；外部脈沖信號可與蝕刻機輸送鏈條同步啟停，基板進入蝕刻區(qū)域同步啟動補液，基板移出后短暫回吸停止輸送，減少無工件時段藥劑過量累積，降低晶圓表面缺陷產(chǎn)生概率。

在蝕刻產(chǎn)線藥劑補給常態(tài)化質(zhì)控場景中，德雷特 SV-600KP 蠕動泵支撐補液工藝標(biāo)準(zhǔn)化管控。蝕刻車間需要定期比對不同時段補液流量穩(wěn)定性，設(shè)備可完整存儲每日運行轉(zhuǎn)速、分配次數(shù)、聯(lián)動信號記錄，每次更換軟管前后可執(zhí)行流量校準(zhǔn)程序，記錄標(biāo)定數(shù)據(jù)便于追溯；設(shè)備啟停、轉(zhuǎn)速變化可向外輸出狀態(tài)信號，接入車間 PLC 系統(tǒng)實現(xiàn)生產(chǎn)數(shù)據(jù)統(tǒng)一歸檔，便于工作人員核查流量波動對應(yīng)的基板品質(zhì)變化，開展補液方法穩(wěn)定性比對、產(chǎn)線工藝考核等質(zhì)控工作。

在電鍍蝕刻工藝教學(xué)實訓(xùn)場景中，德雷特 SV-600KP 蠕動泵適配藥液勻速輸送實操教學(xué)。蝕刻液組分平衡、自動補液聯(lián)動是電鍍工藝核心實訓(xùn)內(nèi)容，設(shè)備勻速、定量、回吸功能可視化可調(diào)，外接模擬傳感信號可演示閉環(huán)補液邏輯，耐腐蝕軟管拆裝流程簡單，實訓(xùn)過程藥液滲漏故障概率偏低。可用于化工、電子專業(yè)產(chǎn)線自動化實訓(xùn)，幫助學(xué)員理解流量穩(wěn)定對蝕刻成品的影響，搭建蝕刻藥液定量輸送標(biāo)準(zhǔn)化實訓(xùn)載體。

綜上所述，德雷特 SV-600KP 蠕動泵依托步進電機無級調(diào)速、軟管隔離輸送、多模式時序補液、多信號外部聯(lián)動架構(gòu)，改善離心泵易腐蝕滲漏、人工補料流量起伏大、簡易計量泵無法微量勻速輸送等問題。設(shè)備完整覆蓋 PCB 堿性蝕刻、五金酸性蝕刻、晶圓精密蝕刻多類產(chǎn)線藥劑在線補加需求，長時連續(xù)運行下流量波動幅度可控，消除管路滴液帶來的局部藥液濃度失衡，輔助維持蝕刻槽組分穩(wěn)定，縮減工件蝕刻尺寸、表面平整度偏差，支撐電鍍蝕刻產(chǎn)線連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)作業(yè)。